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硅材料是半导体产业最基础、最核心的材料,半导体产业链的复杂生产流程,也要从基础硅材料的生产开始。
单晶硅
单晶硅就是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向相同的晶粒,则这些晶粒平行结合起来便结晶成单晶硅。
单晶硅具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加,同时,单晶硅也有显著的半导电性。超纯的单晶硅是本征半导体。在超纯单晶硅中掺入微量的ⅢA 族元素(如硼)可提高其导电的程度,而形成 p 型硅半导体;如掺入微量的ⅤA 族元素(如磷或砷)也可提高导电程度,形成 n 型硅半导体。
多晶硅
多晶硅是单质硅的一种形态,熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如果这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。它不同于用于电子和太阳能电池的单晶硅,也不同于用于薄膜设备和太阳能电池的非晶硅。
二者的区别和联系
在单晶硅中,晶体框架结构是均匀的,能够由外部均匀的外貌来辨识。在单晶硅中,整个样品的晶格连续不间断,且没有晶界。大的单晶在自然界中是极其罕见的,并且也难以在实验室中制造(见重结晶)。相比之下,原子在无定形结构中的位置被限制为短程有序。
多晶和次晶相由数量众多的小晶体或者微晶构成。多晶硅是一种由许多的较小硅晶构成的材料。多晶体晶胞可由一种可见的片状金属效应来识别纹理。半导体级也包括太阳能级多晶硅被转换为单晶硅,意味着在多晶硅中随机联接的晶体转变成了一个大的单晶。单晶硅被用于制造大多数硅基微电子设备。多晶硅能够达到 99.9999%纯度。超纯多晶硅也应用在半导体工业里,比如2至3米长的多晶硅棒。在微电子业,多晶硅在宏观尺度和微观尺度皆有应用。单晶硅的生产工艺包括柴可拉斯基法、区熔和布里奇曼法。
多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。在力学性质、电学性质等方面,多晶硅均不如单晶硅。多晶硅可作为拉制单晶硅的原料。
1、在力学性质、光学性质和热学性质的各向异性方面,远不如单晶硅明显;
2、在电学性质方面,多晶硅晶体的导电性也远不如单晶硅显著,甚至于几乎没有导电性;
3、在化学活性方面,两者的差异极小,一般都用多晶硅比较多。