■0Hz：直流间接法——OTB公司

■40KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和AppliedMaterial公司的磁控溅射系统

■250kHz：岛津公司的板式直接法系统

■440kHz：Semco公司的板式直接法

■460kHz：Centrotherm公司管式直接法

■13.6MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系统

■2450MHz：Roth&Rau公司的板式间接法系统。