硅是地球上储量第二的化学元素，作为半导体材料，人们对它研究的最多、技术也最成熟，而且晶硅性能稳定、无毒，因此成为太阳电池研究开发、生产和应用中的主体材料。高纯度的硅在石英中提取。石英（硅石）的主要成分是二氧化硅，在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅，其化学反应，生成粗硅：SiO2+2C==Si（粗）+2CO；

纯净的硅（Si）是从自然界中的石英矿石（主要成分二氧化硅）中提取出来的，为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。把工业硅粉碎并用无水氯化氢（HCL）与之反应在一个流化床反应器中，生成拟溶解的三氯氢硅（SiHCL3）。其化学反应Si+HCL→SiHCL3+H2↑，反应温度为300℃，该反应是放热的。同时形成气态混合物（H2、HCL、SiHCL3、SiCL4、Si）。

第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯，需要分解：过滤硅粉，冷凝SiHCL3、SiCL4，而气态Н2,НС1返回到反应中或排放到大气中。然后分解冷凝物SiНСl3,SiCl4，净化三氯氢硅（多级精馏）。

净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺，以高纯的SiHCL3在H2中还原沉积而生成多晶硅。其化学反应SiHCl3+H2→Si+HCL。这样就可以得到高纯度的硅料。